臺式掃描電子顯微鏡包括電子發射系統、電磁透鏡系統、信號探測系統、真空系統和計算機控制系統。電子發射系統用于產生高能電子束；電磁透鏡系統對電子束進行聚焦和偏轉，以控制其在樣品表面的掃描路徑；信號探測系統負責檢測從樣品表面激發出的二次電子、背散射電子等信號，并將其轉換為電信號；真空系統為電子束的傳輸和樣品表面的分析提供必要的真空環境；計算機控制系統則對整個儀器的操作進行控制和數據處理。
 

　　臺式掃描電子顯微鏡的應用領域：
 

　　-材料科學：可用于觀察材料的微觀結構、晶粒尺寸、孔隙分布等，幫助研究人員了解材料的性能和特性，為新材料的研發提供依據。
 

　　-生物學和醫學：在生物醫學領域，可用于觀察細胞、細菌、病毒等生物樣本的形態和結構，以及生物組織的內部結構，對于疾病診斷、藥物研發等方面具有重要意義。
 

　　-電子工業：用于檢查電子元器件的表面缺陷、焊接質量、芯片內部的電路結構等，確保電子產品的質量和可靠性。
 

　　-地質學：可用于觀察巖石、礦物的微觀結構和組成，幫助地質學家了解地球的內部結構和演化過程。

 

　　臺式掃描電子顯微鏡的測定步驟：
 

　　1.樣品制備：
 

　　-將分散好的樣品滴于銅片上，干燥后將載有樣品的銅片粘在樣品座上的導電膠帶上(對于大顆粒樣品可直接將樣品粘在導電膠帶上)。
 

　　-對于導電性不好的樣品必須蒸鍍導電層，通常為蒸金。將樣品座置于蒸金室中，合上蓋子，打開通氣閥門，對蒸金室進行抽真空。選擇好適當的蒸金時間，達到真空度定好時間后加電壓并開始計時，保持電流值，時間到后關閉電壓，關閉儀器。取出樣品時，需先關閉通氣閥門以防液體倒流。
 

　　2.電鏡準備：
 

　　-打開電源并等待設備預熱，直到設備達到穩定的工作溫度。
 

　　-啟動控制軟件，如Igor Pro或其他SEM軟件。控制軟件是操作掃描電鏡的關鍵，它能夠控制電子束的掃描、調整成像參數、捕獲圖像和數據等。
 

　　-檢查系統狀態，確保所有零部件正常工作，包括檢查真空泵、電子槍、探測器等。
 

　　3.樣品加載與觀察：
 

　　-點擊Vent放氣后緩慢打開樣品室，將樣品用導電膠固定在載物臺上。為了能在電鏡下快速準確地找到樣品的像，可提前對樣品進行標記。
 

　　-調整樣品的位置，長按鼠標中鍵即顯示指向箭頭，向上拖動箭頭升高樣品臺至10mm處，點擊屏幕右側coordinates將Z軸鎖死。
 

　　-調整粗/微調旋鈕進行調焦，直到觀察到的圖像清晰為止。
 

　　-調整載物臺位置，找到要觀察的視野，進行分析。
 

　　4.圖像采集與分析：
 

　　-根據需要調整放大倍數、加速電壓等參數，以獲得清晰的圖像。
 

　　-使用控制軟件捕獲圖像和數據，并進行必要的分析和處理。