在當今高科技行業中，精密離子研磨技術的進步對材料科學、半導體制造和納米技術的發展至關重要。

作為行業引領者，Technoorg Linda 再次突破創新，在匈牙利首都布達佩斯剛剛結束的全球會議中正式發布了其最新產品 —— 離子研磨儀 SEMPREP SMART 與離子精修系統 Gentle Ion Beam（GIB），為全球用戶帶來更加高效、精確的解決方案。

復納科學儀器（上海）有限公司作為 Technoorg Linda 在中國的d家合作伙伴，我們為客戶提供產品培訓、技術支持和售后服務。

當前在國內市場，Technoorg Linda 專注于引進并推廣 SEM / TEM / FIB 樣品制備系列設備。本次發布的新產品 SEMPREP SMART 離子研磨儀主要用于掃描電鏡（SEM）樣品制備，Gentle Ion Beam（GIB）精修離子束系統主要用于雙束 SEM / FIB 系統中進行 FIB 樣品制備后，對 TEM 樣品進行zui終拋光和溫和的表面清潔。

新產品 01

SEMPREP SMART 離子研磨儀 

SEMPREP SMART 配備了高能量和可選的低能量氬離子槍。用于掃描電子顯微鏡（SEM）和電子背散射衍射（EBSD）樣品的最終加工和清潔。離子加工可以改進和清潔機械拋光的 SEM 樣品，并為 EBSD 分析制備無損表面。該設備還適用于快速截面加工。為您制備高精度和高質量的樣品，例如在半導體測試或鋰離子電池隔膜的截面檢查中均能實現出色的效果。

SEMPREP SMART

產品特點：

1.配方庫-離線：基于我們長期的經驗積累

• 先進的離子槍設計和自動化功能

  采用超高能離子槍，最高可達 16keV，帶來更快的加工速率，更優異的加工效果。 

• 新型智能化操作軟件 

  Technoorg Linda 的新產品在設計上充分考慮了用戶的實際需求，開創性的將 AI 算法集成到系統中，使操作更加智能化，提供多種操作模式：

1.配方庫-離線：基于我們長期的經驗積累

2.自動配方生成 - 離線：基于簡短問卷

3.Linda AI - 在線：實時搜索最佳解決方案，訪問龐大數據庫以獲取最佳結果

高效，全面，智能化的理解用戶需求，提供即時的反饋和解決方案

• 高分辨率數字相機

  在處理過程中用于樣品觀察 

• 全新的對位樣品臺

  在進行 90° 截面樣品加工時帶來更加精確的樣品定位

• 可選的新型 LN2 冷卻系統

  為用戶帶來更加高效及精確的長時間控溫

使用氬離子束進行加工

• 平面加工模式

在樣品傾斜角小于 10 ° 且連續旋轉的條件下進行加工

Cu-7.5wt.%Al 的 EBSD 晶粒取向分布 (a) 和晶界類型 (b)

• 90° 截面加工模式

使用鈦或玻璃擋板進行連續搖擺的截面加工

TFT 板的 90° 加工，位置精度為 ±1 微米                            加工點后方的 TFT表面細節           

新產品 02

GIB 精修離子束系統

Technoorg Linda 的精修離子束系統（GIB）適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無定形和氧化物表面層。當低能氬離子槍集成到掃描電鏡中時，其作用尤為明顯。有了集成離子槍，就可以在研究之前對樣品進行精修。實現高質量樣品的另一個重要應用是在雙束 SEM / FIB 系統中進行 FIB 樣品制備后，對 TEM 樣品進行最終拋光和溫和的表面清潔。

GIB 精修離子束系統

產品特點：

• 儀器控制單元

  電子元件、閉環冷卻系統和氬氣壓力傳感器均位于控制單元內。高純度（99.999%）氬氣用于供應離子源，其流量由高精度針閥調節。控制軟件在 Windows 操作系統下運行，可以單獨安裝在一臺計算機上，也可以安裝在 SEM 的計算機上

• 可與掃描電鏡集成

  帶波紋管的傳輸系統可通過連接管安裝到掃描電鏡上。連接管輸出法蘭的尺寸與相應的 SEM 端口尺寸相匹配。通過線性傳輸系統提供離子源流動性，可實現理想的工作距離（15-30 mm）。

• 低能量氬離子槍

  低能量離子槍的直徑和長度均為 50mm。氬離子束的能量范圍：100keV - 2keV。2keV 時的最大束流為 70µA。離子束為寬束，FWHM 為 2mm。

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