高分辨率臺式掃描電鏡通過電信號放大器加以放大處理，成像在顯示系統上，掃描電鏡工作原理的特殊之處在于把來自二次電子的圖像信號作為時像信號，將一點一點的畫面“動態”地形成三維的圖像。

   高分辨率臺式掃描電鏡是掃描電鏡能譜行業的一個里程碑，亮度10倍于鎢燈絲的CeB6燈絲，不僅使成為*分辨率高的臺式掃描電鏡，同時也使 X射線能譜儀提供更加準確、快速的元素分析。高分辨率臺式掃描電鏡的背散射圖像，首先從視覺上用不同的灰度呈現不同的元素，進一步利用X射線探測器，就能輕松確認不同灰度區域元素的名稱和含量，提供5-95號元素的點掃描，線掃描和面掃描三種分析模式。

   高分辨率臺式掃描電鏡系統和X射線能譜儀系統使用的軟件，用戶通過一個界面就可以操控兩項功能，圖形化的設計，使操作變得的簡單，點擊感興趣的區域，在數秒內既可以得到微觀形貌信息，同時得到該區域的表面元素分布信息。

   高分辨率臺式掃描電鏡主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發射，是介于透射電鏡和光學 顯微鏡之間的一種微觀形貌觀，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。

   高分辨率臺式掃描電鏡的優點是，①有較高的放大倍數，2-20萬倍之間連續可調；②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；③試樣制備簡單。目前的高分辨率臺式掃描電鏡配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區成分分析，因此它是當今十分有用的科學研究儀器。