當(dāng)電子束與樣品相互作用時，會產(chǎn)生背散射電子（BSE）和二次電子（SE）。通過檢發(fā)射信號可獲得樣品表面的成分襯度像（背散射電子）和表面形態(tài)像（二次電子）。背散射電子和二次電子是如何形成的，為什么它們攜帶特定的樣品信息？此外，能否在一幅圖像中同時獲得成分和形態(tài)信息？

當(dāng)入射電子束擊中樣品表面時，會產(chǎn)生二次電子和背散射電子，檢測并收集這些信號從而形成圖像。二次電子是由樣品的核外電子的非彈性散射產(chǎn)生的，如圖1左圖所示。二次電子（SE）是低能量電子（通常小于50eV），容易被吸收。這就是為什么只有從極薄的樣品表面中產(chǎn)生的二次電子才能被探測器收集的原因。