臺(tái)式掃描電子顯微鏡是電子顯微鏡的一種，該儀器具有超高分辨率，能做各種固態(tài)樣品表面形貌的二次電子像、反射電子象觀察及圖像處理。

   該儀器利用二次電子成像原理，在鍍膜或不鍍膜的基礎(chǔ)上，低電壓下通過在納米尺度上觀察生物樣品如組織、細(xì)胞、微生物以及生物大分子等，獲得忠實(shí)原貌的立體感強(qiáng)的樣品表面超微形貌結(jié)構(gòu)信息。臺(tái)式掃描電子顯微鏡具有高性能x射線能譜儀，能同時(shí)進(jìn)行樣品表層的微區(qū)點(diǎn)線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學(xué)組分綜合分析能力。

   臺(tái)式掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大、圖像更富立體感、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、無機(jī)非金屬材料及器件等的檢測(cè)。隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)的迅速發(fā)展，高校、科研單位、企業(yè)等大量引進(jìn)了場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。但是在臺(tái)式掃描電子顯微鏡的使用過程中，特別是在安裝初期，使用者通常由于對(duì)電鏡的運(yùn)行狀態(tài)缺乏系統(tǒng)認(rèn)識(shí)，經(jīng)常會(huì)遇到軟件死機(jī)、樣品臺(tái)被卡、真空問題等多種故障。解決方式一般為請(qǐng)維修工程師上門維修，除花費(fèi)時(shí)間和費(fèi)用外，也造成了對(duì)電鏡操作者的心里束縛。

   臺(tái)式掃描電子顯微鏡是研究微觀世界的重要工具之一，為人們?cè)谖⒓{米尺度上研究物質(zhì)的結(jié)構(gòu)提供了有力的手段，在材料科學(xué)等眾多學(xué)科領(lǐng)域及質(zhì)量過程控制中得到日益廣泛的應(yīng)用。臺(tái)式掃描電子顯微鏡是掃描電子顯微鏡的一個(gè)重要分支。具有以下特點(diǎn)：放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像分辨率高和景深大等，現(xiàn)已被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造等各個(gè)研究領(lǐng)域。